CVA化學氣相滲鋁設備

IHI Bernex CVA（化學氣相滲鋁）系統用于在渦輪發動機高溫段的零部件如渦輪葉片及靜止部件上沉積鋁化擴散涂層。
這種設備尤其適合替代包埋法或鋁漿處理，在葉片冷卻內腔進行涂層，此種工藝比其他工藝更加先進。

實際上，此種工藝比其他工藝先進是因為：
1）可減少包埋法產生的廢物處理問題
2）提高反應物的靈活性和可控性，可加入其他元素（如Cr,Co, Si, Zr, Hf等等）來改善性能
3）處理后無須清洗涂層
4）較好的鋁擴散涂層分布
5）最少的表面缺陷密度

此系統為模塊化設計，可滿足特定用戶的需求，包括以下各項：
1）第二反應器，可提高產量
2）內腔涂層用的附加氣體管線
3）用于超高溫熱處理的全石墨反應器
4）硅混合涂層源
5）內部發生器用于高活性工藝處理（使用AlCl）
6）氯化模塊
7）專用工作托盤
8）尾氣中和裝置
9）氣體純化裝置

典型應用
自動化的CVA系統有不同的反應器尺寸，也可根據客戶要求定制。
交鑰匙的CVA系統配有大多數先進的工藝技術及工藝清單，可完全用于高溫工業化的航空及燃氣渦輪部件。
1）低活性鋁化工藝
2）高活性鋁化工藝
3）熱處理
4）Hf 混合涂層
5）CoAl 混合涂層
6）Zr 混合涂層
7）AlSi 混合涂層
8）AlCr工藝